Физики и технологии материалов и компонентов электронной техники” Нижегородского государственного технического университета
с 1999 года. Доктор химических наук. Профессор.
Образование
Горьковский государственный университет (1970), физик.
Предыдущие места работы
1971-1997 гг. – заведующий лабораторией Института химии высокочистых веществ РАН (ИХАН); 1997- 1998 гг. – директор по науке ООО “Фирма “Хорст”.
Область научных, производственных, творческих интересов
Физикохимия и технология получения высокочистых летучих веществ для микроэлектроники.
Членство в общественных, научных и других организациях
Действительный член российской Академии инженерных наук, член Российского химического общества имени Д.И. Менделеева, член Европейского мембранного общества, член диссертационных Советов.
Направление деятельности
Разработка новых методов синтеза и глубокой очистки летучих неорганических гидридов кремния, германия, мышьяка, фосфора, серы, селена, а также галогенидов кремния, германия, фосфора, бора.